压力开关
|
wasco压力开关uc8
- 品 牌：wasco
- 型 号：uc8
- 技术资料：
- 阅读次数：1417
uc8 系列采用 wasco 专有的制造方法和 eigiloy 隔膜。它具有高纯度和高耐腐蚀性。其全焊接结构消除了所有泄漏途径。该系列是处理腐蚀性介质的选择，精度高，公差小。我们设计的 uc8 系列适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境。uc8 系列的额定 95b2 应用周期超过 2,000,000 次。uc8 系列可提供满足或超过 semi f20 uhp 要求的材料选项。根据 semi f1，所有开关的氦气泄漏测试均达到≤ 1 x 10-9 std cc/sec。
适用于下一代半导体加工设备中的高腐蚀性环境
额定 95b2 应用周期超过 2,000,000 次
经过氦气泄漏测试
符合 semi f1 标准
泄漏量≤1 x 10-9 std cc/sec
uc8-a：激活点范围：50 至 1500 torr（abs压力）
uc8-g：激活点范围：2 至 20 psig 压力表压力
可提供符合或超过 semi f20 uhp 要求的材料选项
可提供其他激活范围
可提供更高的压力
产地：美国
激活点范围：50 至 1500 torr（abs压力）
复位带：40 torr 启动点的 6 %（典型值）
激活点公差：± 15 torr 2 %激活点（典型值）
耐压：100 psig
爆破压力：min 1000 psig
润湿元件
工艺接口：316l ss semi f20 uhp 兼容
隔膜：埃尔吉洛伊elgiloy
内表面处理：5 ra
预期寿命：≥ 2,000,000 次 95b2（取决于应用情况）
防护等级：ip 67（abs配置）
泄漏率：氦气泄漏测试 ≤ 1 x 10-9 std cc/sec
工作温度：-20至 60 ℃（-4至 140 °f）
非操作温度：-40至 100 ℃（-40至 212 °f）
气箱、igs 配气盘、配气系统、阀组箱体、蚀刻和沉积系统
