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用于高度动态和振动敏感的机器和仪器的实时液位控制。
eppc实时液位控制可实现 /-10µm的生产精度,并显著减少偏转和沉降时间,以响应动态负载变化基于智能浏览器的用户界面,用于设置、诊断和监控。
电子气动位置控制eppc为高精度机器、高度动态和振动敏感的测量机器、显微镜以及测试和生产机器提供好的振动隔离。
eppc可以与三到六个biair薄膜空气弹簧控制组组合,以控制多达六个自由度。bilz为系统设计提供各种不同尺寸的空气弹簧。
电子气动液位控制系统与biair薄膜空气弹簧相结合,可实现位置精度,并减少动态负载变化时的偏转和沉降时间。
-传感器分辨率: